辩题征集已启动！第八届大湾区大学生税收辩论赛将在珠海举行

　　从事砚雕30多年，蔡永江将薄意雕刻技法与中国传统绘画白描相结合，运用于歙砚雕刻，形成了具有文人绘画意蕴的个人雕刻风格。他认为，“在砚雕技艺传承过程中，要把握好传承和创新的关系，学古不泥古、破法不悖法，这才是我们坚持艺术创作最重要的法则。”他觉得自己所承担的责任就是给歙砚雕刻总结出一些好的经验，传承给下一代，形成一种新的艺术语言，给后来从事这门技艺的年轻人提供更好的借鉴。

　　潜心传承歙砚制作技艺之余，作为政协委员，蔡永江认真履职尽责，积极参政议政。针对我市非遗传承项目众多，但传承人队伍的艺术理论素质良莠不齐、有待提高这一现状，他撰写了《关于加强非遗传承人艺术理论教育以及增加传承经费补助的建议》，认为“非遗传承人的传统艺术理论再教育迫在眉睫，希望我市相关部门能和一些大型艺术院校建立培养机制，从国家级非遗传承人开始进行系统的艺术理论培训，提高传承人的艺术理论素养，鼓励和支持传承人参加多种形式的艺术交流，从而使黄山市的非遗传承事业得到进一步发展。”

　　政协委员是荣誉，更是责任。蔡永江表示，“弘扬歙砚文化是我的本职工作，为黄山市工艺美术行业建言献策也是我的责任，今后我将多做一些社会调研，提出更有价值的提案，为广大工艺美术从业者‘代言’，发挥好桥梁纽带作用。”

　　·舒 俊·

雅洛薇的外貌十分可爱，她有着金色的长发和蓝色的眼睛，身穿一件白色和粉色相间的连衣裙，头上戴着一朵花。她的性格也很温柔和善良，对待所有人都很友好和尊重，即使是敌人也不会轻易伤害。她对自己的力量并不了解，也不知道自己为什么会被追杀，只是想找到自己真正属于的地方。

雅洛薇的力量来源于她体内的“神之火花”，这是一种能够改变世界的神秘能量，被认为是创造者留下的遗产。雅洛薇可以利用这种能量释放出各种强大的魔法，比如治愈、护盾、冰冻、闪电等。她还可以通过触摸物体或生物来感知它们的历史和情感，甚至可以进入它们的梦境。雅洛薇的力量虽然强大，但也有很大的风险，如果使用过度或失控，可能会导致自己或周围的人受到伤害。

因为雅洛薇拥有“神之火花”，她成为了许多势力觊觎和追捕的目标，包括邪恶的黑暗教团、贪婪的商人联盟、傲慢的贵族家族等。他们想要利用雅洛薇的力量来实现自己的野心或欲望，不惜对她进行折磨或实验。幸运的是，雅洛薇并不孤单，她在游戏中遇到了许多志同道合的伙伴，比如勇敢而忠诚的骑士卡尔、聪明而机智的法师艾米、热情而豪爽的战士拉克等。他们一起保护着雅洛薇，帮助她寻找自己的身世和命运。

第七史诗雅洛薇是一个厉害而可爱的角色，她不仅拥有神奇而强大的力量，还有着纯真而善良的心。她在游戏中经历了许多冒险和挑战，也遇到了许多敌人和朋友，她不断地成长和学习，逐渐发现了自己的价值和意义。她最终要面对的是一个关乎整个世界命运的选择，她是否能够拯救这个被黑暗笼罩的世界，还是会成为它的毁灭者？这一切都取决于玩家们的决定和行动。

第七史诗雅洛薇是一个值得玩家们关注和喜爱的角色，她不仅给玩家们带来了精彩而有趣的游戏体验，还给玩家们传递了一些积极而深刻的信息，比如勇气、友情、信念、牺牲等。如果你还没有玩过这款游戏，那么不妨下载试试吧，你一定会被雅洛薇的魅力所吸引。

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　　在高铁阜阳西站与阜阳火车站的进出站口、候车大厅，身着红色马甲的青年志愿者步履不停地为旅客提供咨询引导、路线解答、行李搬运等服务；在市科技馆，志愿者穿梭于各展区之间，为前来参观的市民答疑解惑、指引路线，帮助游客更好地体验科技魅力；在阜南县“超级皖”2025“庆国庆·迎中秋”惠民嘉年华活动现场，志愿者连续四天奋战一线，承担起秩序维护、人员引导、亲子活动组织等多项任务……

　　这个假期，阜阳志愿者用一次次指引、一句句问候、一份份坚守，点亮了节日里的文明之光。（记者 郝思雅 通讯员 徐晓静）

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。